24日，中国科学院微电子权衡所通过公众号发布讣告：

中国共产党党员，中国科学院院士，我国了得的微电子科学家，中国科学院微电子权衡所权衡员，原中国科学院微电子中心主任，第九届、第十届宇宙东谈主民代表大会常务委员会委员吴德馨同道，因病医治无效，于2026年3月23日13时15分在北京衰一火，享年90岁。

千里悼惜念并深远惦记吴德馨院士！

同日，吴德馨院士治丧委员会发文先容吴德馨同道生平：

吴德馨同道1936年12月生于河北乐亭，1979年6月加入中国共产党，1961年毕业于清华大学无线电电子工程系，成为清华大学第一批半导体专科毕业生。毕业后被分派至中国科学院半导体权衡所使命，1986年调入中国科学院微电子中心（现中国科学院微电子权衡所）使命于今，历任助理权衡员、权衡员、中心副主任、主任，1991年当选为中国科学院院士（学部委员）。先后荣获国度科技逾越二等奖、北京市科学时候一等奖、中国科学院科技逾越一等奖、何梁何利基金科学与时候逾越奖等多个伏击奖项。

吴德馨同道是我国半导体与集成电路权衡的设备者之一，为国度微电子功绩发展作念出了超卓孝敬。在半导体所使命时辰，她动作课题负责东谈主承担了开脱初期“12年科学商酌”中的“平面型高速开关晶体管的权衡”，独当一面地料理了进步开关速率的枢纽问题，开关速率达到那时海外同类产物水平。该时候在中国科学院109厂和上海器件五厂进行了实施，突破了西方国度对我国的紧闭，为“两弹一星”配套的“109丙”计较机提供了中枢器件，ag真人app官方网站下载产生了首要的经济和社会效益，获宇宙新产物一等奖。

1986年，吴德馨同道调入中国科学院微电子中心任副主任、权衡员。动作主要负责东谈主从事N沟MOS 4K、16K和64K动态迅速存储器（DRAM）的工艺权衡，初度在国内收效研制出4K、16K位DRAM。收效成立出双层多晶硅和差值氧化工艺，突破了我国大范畴集成电路制品率耐久低下的样式，为我国集成电路的工业分娩奠定了基础。

1991年，吴德馨同道担任中国科学院微电子中心主任。她骁勇校正、勤恳窜改，积极探索新的科研和成立界限，指点成立了0.8微米CMOS全套工艺，科研效力和产物成立等效益阻挡增多，创始了微电子中心发展的新样式。

离开指点岗亭的吴德馨并未消弱科学权衡，她指点科研东谈主员收效研制0.1微米砷化镓/铝镓砷异质结场效应晶体管，在国内初度收效研制出全功能砷化镓/铟镓磷HBT 10Gbps光纤通讯光辐照入手电路。

任宇宙东谈主大常委会委员时辰，吴德馨同道发挥本质职能，积极建言献计，屡次向中央指点陈述微电子时候的发展趋势并提议建议，屡次干与国度和中国科学院发展商酌的制定，屡次主合手援笔两院院士对国度集成电路发展权衡阐述的撰写等使命，有劲股东了我国半导体功绩的发展。

吴德馨同道将六十余载光阴沿途奉献给故国的半导体与微电子功绩，用一世评释了爱国奉献、严谨务实的科学家精神。她的衰一火是我国微电子学界和科技功绩的首要逝世。她的玄机品德、治学精神与超卓孝敬，将恒久铭刻在咱们心中。

吴德馨同道千古！

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